「半導体製造工程において、効率的な加熱で省エネに貢献」

株式会社巴川コーポレーション（本社：東京都中央区、代表取締役社長：井上善雄、以下 TOMOEGAWA）は、静岡事業所内に「フレキシブル面状ヒーター」を製造する新設備を設置することといたしましたので、以下の通りお知らせいたします。
拡大する半導体製造現場の省エネルギー化を目指して
TOMOEGAWAはミッションに示すとおり、新製品・新技術開発に挑戦し、お客様の環境負荷低減、省エネ、省資源に貢献する付加価値製品の展開を進めています。

今後の拡大が見込まれる半導体市場向けに、製造工程における電力使用量削減のため、製造装置や工場内の配管部分における加熱効率を大きく向上させるステンレス繊維シートを使った「フレキシブル面状ヒーター」の開発に取り組んできました。

現在、国内の大手半導体製造装置メーカーや半導体製造メーカーに対し、本製品の納入を目指しています。まずは2025年度後半に年商10億円の規模とすることを目標とし、そのための量産体制構築に向けて、今回の製造設備新設を行います。
今回の投資額は８億円程度、操業開始予定は2025年4月を目指しています。

ステンレス繊維シートを使用した「フレキシブル面状ヒーター」

TOMOEGAWA独自の技術であるステンレス繊維シート

被加熱体の表面に追従


均一な発熱を実現
「フレキシブル面状ヒーター」は、高い熱伝導性と多孔質構造といった特性を持つステンレス繊維シートを使用しています。

優れた柔軟性により、被加熱体の表面に追従させることで効率的な加熱を実現し、省エネに貢献するTOMOEGAWA独自の技術です。



株式会社巴川コーポレーションウェブサイト「フレキシブル面状ヒーター」
https://www.tomoegawa.co.jp/product/icas/paperheater.html

株式会社巴川コーポレーション 会社概要
TOMOEGAWAグループは、様々な分野の製品で世界トップクラスのシェアを獲得するグローバルな高機能性材料メーカーです。抄く・塗る・貼る・砕くの技術を活かし、「半導体・ディスプレイ関連事業」「機能性シート事業」「トナー事業」「セキュリティメディア事業」の4つの事業セグメントをメインに様々な事業領域で活躍をしています。また、より良い未来の実現に向けて新しいビジネス価値を創造するため、「新規開発事業」の事業セグメントを設けています。


本社所在地：東京都中央区京橋二丁目1番3号　京橋トラストタワー 7階
代表取締役社長 CEO：井上 善雄
創業：1914年（大正3年）6月19日
URL：https://www.tomoegawa.co.jp/

お問い合わせ先
株式会社巴川コーポレーション　
iCasカンパニー 企画室
TEL：03-3516-3405　　
e-mail ：[email protected]